ATS
晶圓級(jí)全自動(dòng)量測(cè)解決方案
自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)
軟硬協(xié)同
多功能測(cè)試
ATS是概倫電子基于FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)分析儀和自研硬件設(shè)備及測(cè)量控制軟件開發(fā)的一套全自動(dòng)電性量測(cè)解決方案。
可根據(jù)使用需求靈活的集成多種軟硬件，測(cè)量涵蓋電流電壓（IV）、電容電壓（CV）、脈沖式IV、高速時(shí)域信號(hào)采集、低頻噪聲測(cè)試以及多種可靠性測(cè)試。
通過概倫自主研發(fā)的低漏電矩陣開關(guān)和測(cè)量控制軟件，可支持多種業(yè)界主流型號(hào)的探針臺(tái)，實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)或全自動(dòng)的晶圓級(jí)測(cè)試，適用于多種自動(dòng)化量測(cè)場(chǎng)景。
廣泛應(yīng)用于晶圓級(jí)電學(xué)參數(shù)測(cè)試，測(cè)量控制軟件內(nèi)建大量電性參數(shù)測(cè)試設(shè)置，可快速實(shí)現(xiàn)Vt、Gm、Idlin、Idsat、Ioff、Swing、Cgg等參數(shù)的全晶圓器件測(cè)試。
適用于器件模型數(shù)據(jù)測(cè)試需求，一套系統(tǒng)即可完成包括IV、CV和1/f噪聲等特性的測(cè)試，為建立SPICE模型提供全面數(shù)據(jù)支持和高效高質(zhì)量的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。
在晶圓級(jí)可靠性測(cè)試方面，測(cè)量軟件內(nèi)置符合JEDEC標(biāo)準(zhǔn)的HCI、BTI、TDDB、Ramp測(cè)試算法，并支持多點(diǎn)位測(cè)試，保證全晶圓器件可靠性的準(zhǔn)確評(píng)估。
支持TFT電學(xué)特性測(cè)試和應(yīng)力測(cè)試，包括TFT轉(zhuǎn)移特性、輸出特性、接觸電阻、CV特性以及BTS和電流應(yīng)力測(cè)試。
下載產(chǎn)品單頁
SPICE模型
PDK
標(biāo)準(zhǔn)單元庫
制造
電路設(shè)計(jì)平臺(tái)
電路仿真
電路仿真
SoC設(shè)計(jì)與驗(yàn)證
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