半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓(IV)測(cè)試、電容電壓(CV)測(cè)試、脈沖式IV測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、高速波形發(fā)生與釆集以及低頻噪聲測(cè)試能力,幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測(cè)試系統(tǒng)中完成。
全面而強(qiáng)大的參數(shù)測(cè)試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評(píng)估進(jìn)程,并可與概倫9812系列噪聲測(cè)試系統(tǒng)無(wú)縫集成。
釆用工業(yè)通用的PXI模塊化硬件架構(gòu),系統(tǒng)配置靈活,擴(kuò)展性強(qiáng)。
內(nèi)置專業(yè)測(cè)試軟件LabExpress提供豐富的測(cè)試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能。
LabExpress軟件同時(shí)支持自動(dòng)化量測(cè)和并行量測(cè),可進(jìn)一步提升測(cè)試效率。
廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件測(cè)試、器件可靠性等研究領(lǐng)域。
單機(jī)可采集高精度IV、CV、脈沖IV
高速波形和瞬態(tài)IV采樣及1/f噪聲
寬電壓電流輸出范圍、高精度
支持高速采樣時(shí)域信號(hào)采集和任意線性波形生成
被眾多科研院所、芯片設(shè)計(jì)公司和代工廠、
IDM公司釆用,目前已有國(guó)內(nèi)外百余家客戶
支持靈活、可擴(kuò)展的
測(cè)試配置
內(nèi)置專業(yè)LabExpress測(cè)量控制分析軟件
無(wú)需復(fù)雜編程可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)測(cè)量設(shè)置、執(zhí)行和數(shù)據(jù)分析
可用作981X系列內(nèi)部SMU模塊
無(wú)縫集成到981X系列噪聲測(cè)試系統(tǒng)
工藝制程研發(fā)與
器件參數(shù)測(cè)試
半導(dǎo)體器件
可靠性測(cè)試
半導(dǎo)體器件
超短脈沖測(cè)試
非易失性
存儲(chǔ)器測(cè)試
光電器件和
微電子機(jī)械系統(tǒng)測(cè)試
二維材料
器件測(cè)試
金屬材料
測(cè)試
新型先進(jìn)材料
與器件測(cè)試