半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
采用自主研發(fā)的測(cè)試硬件架構(gòu)和數(shù)據(jù)總線,支持包括高精度SMU在內(nèi)的多種自研測(cè)試模塊,功能全面,配置靈活,擴(kuò)展性強(qiáng)。
在一個(gè)FS800系統(tǒng)中幾乎可完成所有半導(dǎo)體器件的電性表征,支持電流電壓(IV)測(cè)試、電容電壓(CV)測(cè)試、脈沖式IV測(cè)試、任意線性波形發(fā)生與測(cè)量、低頻噪聲測(cè)試、高速波形發(fā)生與釆集測(cè)試等能力。
采用靈活的模塊化體系結(jié)構(gòu),在同一機(jī)箱內(nèi)可同時(shí)安裝高精度SMU和低漏電矩陣開(kāi)關(guān)模塊,在單臺(tái)臺(tái)式設(shè)備內(nèi)即可實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)器件電性參數(shù)的自動(dòng)化測(cè)試。
直觀的18.5英寸觸摸屏界面。
內(nèi)置電性參數(shù)測(cè)試軟件LabExpress提供豐富的測(cè)試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能,支持腳本化編程平臺(tái),可以靈活實(shí)現(xiàn)自定義算法和快速擴(kuò)展。
廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件測(cè)試、器件可靠性等研究領(lǐng)域
量程寬精度高
支持高速采樣時(shí)域信號(hào)采集、
任意線性波形生成
單機(jī)可支持高精度
IV、CV、脈沖IV、高速波形
和瞬態(tài)IV采樣等測(cè)試應(yīng)用
可支持高達(dá)24個(gè)SMU
或132端口矩陣開(kāi)關(guān)
支持同時(shí)安裝高精度源表
和低漏電矩陣開(kāi)關(guān)模塊
單臺(tái)設(shè)備內(nèi)可完成
晶圓級(jí)電性參數(shù)的自動(dòng)化測(cè)試
支持并行測(cè)試
內(nèi)置labExpress測(cè)試軟件
提供豐富的內(nèi)置測(cè)試算法庫(kù)、
數(shù)據(jù)分析工具和靈活的自定義能力
工藝制程研發(fā)與
器件參數(shù)測(cè)試
半導(dǎo)體器件
可靠性測(cè)試
半導(dǎo)體器件
超短脈沖測(cè)試
非易失性
存儲(chǔ)器測(cè)試
光電器件和
微電子機(jī)械系統(tǒng)測(cè)試
二維材料
器件測(cè)試
金屬材料
測(cè)試
新型先進(jìn)材料
與器件測(cè)試